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김상용 ; 서용진 ; 김태형 ; 이우선 ; 김창일 ; 장의구 ( Sang Yong Kim ; Yong Jin Seo ; Tae Hyung Kim ; Woo Sun Lee ; Eui Goo Chang )
1997
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500
학술저널
456-460(5쪽)
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TMAH / IPA / Pyrazine 수용액에서 전기화학적 식각정지법을 이용한 Si 기판의 미세가공