- 1. 서론
- 2. 본론
- 3. 결과
- 참고문헌
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2006
Korean
학술저널
17-19(3쪽)
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Present and Future on Nanoscience and Nanotechnology
결정질-TiAlN/비정질-Si₃N₄ 나노 다층막의 경도 및 열적 안정성