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이 학술지의 논문 검색
연성룡(Chenglong Lian), 이광희(Kwang-Hee Lee),이철희(Chul-Hee Lee) 한국트라이볼로지학회 2016 p.39-43
고정 입자 정반을 이용한 사파이어 기판의 연마 특성 연구
이태경(Taekyung Lee), 이상직(Sangjik Lee),조원석(Wonseok Jo),정해도(Haedo Jeong),김형재(Hyoungjae Kim) 한국트라이볼로지학회 2016 p.44-49
김동균(Dongkyun Kim), 김종윤(Jongyun Kim),이현섭(Hyunseop Lee) 한국트라이볼로지학회 2016 p.50-55
사파이어 웨이퍼 DMP에서 마찰력 모니터링을 통한 재료 제거 특성에 관한 연구
조원석(Wonseok Jo), 이상직(Sangjik Lee),김형재(Hyoungjae Kim),이태경(Taekyung Lee),이성범(Seongbeom Lee) 한국트라이볼로지학회 2016 p.56-60
A Study on Pressure Distribution for Uniform Polishing of Sapphire Substrate
Chul jin Park(박철진), Haedo Jeong(정해도),Sangjik Lee(이상직),Doyeon Kim(김도연),Hyoungjae Kim(김형재) 한국트라이볼로지학회 2016 p.61-66
A Study on Pressure Distribution for Uniform Polishing of Sapphire Substrate
박철진, 정해도,이상직,김도연,김형재 한국트라이볼로지학회 2016 p.61-66
CMP 공정에서 압력과 정반속도가 사파이어 웨이퍼 재료제거율에 미치는 영향
박상현(Sanghyun Park), 안범상(Bumsang An),이종찬(Jongchan Lee) 한국트라이볼로지학회 2016 p.67-71