혼합가스 플라즈마에서는 플라즈마의 복잡성에 인해 전극에 도달하는 이온종에 따른 이온에너지분포의 확인이 어렵다. 따라서 수치해석 전산모사를 통해 아르곤 및 헬륨 플라즈마에 대한 ...
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2021
Korean
420
학술저널
87-87(1쪽)
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혼합가스 플라즈마에서는 플라즈마의 복잡성에 인해 전극에 도달하는 이온종에 따른 이온에너지분포의 확인이 어렵다. 따라서 수치해석 전산모사를 통해 아르곤 및 헬륨 플라즈마에 대한 ...
혼합가스 플라즈마에서는 플라즈마의 복잡성에 인해 전극에 도달하는 이온종에 따른 이온에너지분포의 확인이 어렵다. 따라서 수치해석 전산모사를 통해 아르곤 및 헬륨 플라즈마에 대한 압력 및 주파수에 따른 이온에너지 분포를 조사하였다. 모든 주파수에서 압력이 증가할수록 전극에 도달하는 헬륨 이온의 양이 줄어드는 것을 확인하였다. 즉, 전극에서의 총 이온에너지분포는 아르곤 이온이 지배적이다. 물리적인 이유의 확인을 위해 쉬스에서의 이온 특성을 확인한 결과, 각 반응에 대한 충돌 단면적에 의해 결정된다는 것을 알 수 있었다. 이는 높은 압력에서의 이온에너지분포 변화에 대한 이해 향상에 큰 도움이 될 것이라고 기대된다.
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