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Ultrathin MEMS thermoelectric generator with Bi2Te3/(Pt, Au) multilayers and Sb2Te3 legs
Liu Yang, Mu Erzhen,Wu Zhenhua,Che Zhanxun,Sun Fangyuan,Fu Xuecheng,Wang Fengdan,Wang Xinwei,Hu Zhiyu 나노기술연구협의회 2020 p.1-11