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$RuO_2$ 및 Pt 기판에서 $PbTiO_3$박막의 화학기상 증착특성에 관한 연구
정수옥,이원종,Jeong, Su-Ok,Lee, Won-Jong 한국재료학회 2000 한국재료학회지 Vol.10 No.4
$PbTiO_3$ films were fabricated by electron cyclotron resonance plasma enhanced chemical vapor deposition(ECR-PECVD). Deposition characteristics of $PbTiO_3$films on $RuO_2$ and Pt substrates were investigated with varying the flow rate of metalorganic source and substrate temperature. The residence time of Pb-oxide molecules in much longer on $RuO_2$ than on Pt substrate, while the perovskite nucleation is more difficult on $RuO_2$ than on Pt substrate. Therefore, the process conditions to obtain the single perovskite $PbTiO_3$ phase are more restricted on $RuO_2$ than on Pt substrates. An introduction of Ti-oxide seed layer increases perovskite nucleation density and thus enlarges the process window to obtain the single perovkite phase. The introduction of Ti-oxide seed layer make the PZT film that Ti-components of $PbTiO_3$ are partially substituted with Zr atoms have single perovskite phase for the wide range of Zr/(Zr+Ti) concentration ratios. 전자싸이클로트론공명-플라즈마 화학기상증착법으로 $PbTiO_3$박막을 증착하였다. $RuO_2$ 기판과 Pt 기판 위에 금속유기화합물 원료기체 유량 및 증착온도에 따라서 $PbTiO_3$박막의 증착특성을 연구하였다. $RuO_2$ 기판 위에서 Pt 기판에 비하여 Pb-oxide 분자의 잔류시간이 상대적으로 크고, 페로브스카이트 핵생성 밀도는 상대적으로 작으며, 단일한 페로브스카이트 상의 $PbTiO_3$ 박막을 얻을 수 있는 공정범위가 Pt 기판보다 좁았다. $PbTiO_3$ 박막 증착 전 Ti-oxide 씨앗층을 도입함으로써 $RuO_2$ 기판에서도 페로브스카이트 핵생성 밀도를 증가시켜 단일한 페로브스카이트 박막을 얻을 수 있는 공정범위가 확장되었다. $PbTiO_3$에서 Ti 성분을 Zr으로 일부 대체시킨 $Pb(Zr,Ti)O_3\;(PZT)$ 박막의 경우에도 Ti-oxide 씨앗층을 도입함으로써 넓은 공정범위에서 단일한 페로브스카이트 PZT 박막을 $RuO_2$기판 위에서도 제조할 수 있었다.
이종재 Al5083-O/DP590 마찰교반점용접시 툴의 삽입깊이(Plunge Depth)가 용접성에 미치는 영향
정수옥(Su-Ok Jeong),방한서(Han-Sur Bang),방희선(Hee-Seon Bang) 대한용접·접합학회 2016 대한용접·접합학회지 Vol.34 No.3
In terms of mechanical and metallurgical characteristics, the effect of tool plunge depths(0.2, 0.5, 0.7, 1.0, 1.5mm) on weldability in dissimilar Al5083-O/DP590 friction spot joint has been clarified. From the results, it is found that the stirred nugget was stably formed at a plunge depth of more than 0.7mm, which is caused by improved stirring action against each other material. With increasing a plunge depth, the thickness of intermetallic compound(IMC) layer in Al5083-O/DP590 joint has a tendency to increase. The tensile shear strength reaches to the maximum failure load of 6.5kN at a plunge depth of 0.7mm due to relatively small decrease in the thickness of Al5083-O sheet and relatively minute thickness of IMC layer, compared with those of other plunge depth conditions.