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      • 반도체 유틸리티 배관 티뽑기 용접부 오비탈 용접 개발

        함효식(Hyosik Ham),이동훈(Donghun Lee),윤훈성(Hunsung Yoon),박지현(Jihyun Park),최두진(Doojin Choi) 대한용접·접합학회 2021 대한용접학회 특별강연 및 학술발표대회 개요집 Vol.2021 No.11

        반도체 제조공장 건설 공사에는 많은 반도체 제조용 유틸리티 배관들이 있고, 이 배관들은 대부분 용접으로 시공하고 있다. 반도체 제조용 유틸리티 배관은 유해한 독성 화학물질을 공급하기 때문에 기밀 및 내부식성이 중요하고, 유틸리티 배관을 통한 미세먼지가 반도체 웨이퍼 품질에 영향을 주기 때문에 배관 이음부 용접 품질이 매우 까다롭게 요구된다. 따라서, 우수하고 안정된 품질을 가지는 오비탈 배관 자동용접을 적용하여 까다로운 용접부 이음부 사양을 만족시키려 한다. 현재 용접이음부에 단차가 거의 없는 튜브는 대부분 오비탈 자동용접을 적용중이나, 파이프용 배관 사이즈는 SUS 100A Sch.5 이하 직관 용접부에 대해 제한적으로 적용이다. 미적용 용접부는 대부분 오비탈 자동용접장비 장착이 어렵거나 두께편차, 진원도 등에 의한 단차 문제로 인해 사양에 만족하는 비드 외관을 얻기 어렵기 때문이다. 피팅류, 곡관 용접부가 이에 해당된다. 발주처에서는 오비탈 자동용접 미적용부에 대해 적극적으로 자동용접을 적용하기 위해 연구개발을 시공사에 요구하고 있는 실정이다. 본 연구는 반도체 유틸리티 배관중 티뽑기 용접부에 오비탈 자동용접 공법 및 장비를 개발 적용하였다. 기존에는 티뽑기 이음부와 밸브사이 간격이 좁아 오비탈 장비를 장착할 수 없었고, V그루브로 가공되어 있어서 전량 수동 TIG용접으로 적용하고 있었다. 오비탈 자동용접 적용을 위해 이음부 설계변경, 티뽑기 이음부용 용접헤드 제작, 용접 공법을 개발하여 적용, 생산하였다.

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