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      • 졸-겔법으로 스테인리스 기판에 코팅한 PZT 박막

        강보안(Bo An Kang) The Research and Information Service 2005 남부대학교 논문집 Vol.5 No.-

        졸-겔법으로 페로브스카이트형 PZT 박막을 제조하였다. 양호한 PZT 박막의 조성비는 Zr/Ti가 65/35%였다. 박막은 스핀 코팅법으로 스테인리스 기판에 Pb, Zr과 Ti 의 아세트산과 알콕시드 전구체로부터 제조하였다. 550℃-700℃ 에서 열처리한 PZT 박막은 삼방정의 결정상이었다. X선 회절법과 SEM을 이용하여 박막의 미세 결정구조와 표면 미세구조를 확인하였다. Lead zirconate titanate(PZT) films were prepared by sol-gel process. The best chemical composition with the Zr/Ti ratio was 65/35%. PZT films prepared from the acetate and alkoxide of Pb, Zr and Ti were deposited on the stainless steel substrates by spin-coating. Rhombohedral phase was identified from the specimens annealed at 550°C-700°C. The crystalline property of the films were characterized by X-ray diffraction and scanning electron microscopy.

      • KCI등재
      • KCI등재

        열산화법에 의한 티타늄 임플란트의 인산칼슘 결정의 형성 능력 증진

        황규석,안준형,이선옥,윤연흠,강보안,오정선,김상복,Hwang, Kyu-Seog,An, Jun-Hyung,Lee, Seon-Ok,Yun, Yeon-Hum,Kang, Bo-An,Oh, Jeong-Sun,Kim, Sang-Bok 한국세라믹학회 2002 한국세라믹학회지 Vol.39 No.5

        티타늄 임플란트의 표면을 열산화법을 이용하여 티타늄의 표면 위에 생체활성을 갖는 $TiO_2$ 박막을 생성시켜 다양한 의료분야의 응용 가능성을 검토하였다. 시판되고 있는 순수한 티타늄 디스크를 세척 공정을 거친 후, 공기와 아르곤 분위기에서 500, 550, 600, 650, 700${\circ}C$의 온도로 10분간 각각 열산화 처리를 실시하였다. 열처리된 시편의 인산칼슘 결정의 형성 능력을 시험하기 위하여 36.5${\circ}C$의 Eagle's minimum essential medium 용액에서 15일 동안 침적시험을 행하였다. 침적하기 전과 후의 시편의 표면 형상과 표면 조성을 Field Emission-Scanning Electron Microscopy(FE-SEM)와 Energy Dispersive X-ray Spectrometry(EDS)로 각각 분석하였다. In vitro 시험에서 미세한 $TiO_2$ 결정이 생성된 박막의 표면에는 탄소가 함유된 인산칼슘 결정이 생성됨을 확인하였다. Titanium oxide film was deposited on the commercially pure titanium (cp-Ti) by thermal oxidation method for its medical application. The cp-Ti disks were cleaned and then heat-treated at the temperatures of 500, 550, 600, 650, and 700${\circ}C$, respectively, for 10 min in air or Ar. To test the ability of calcium phosphate formation, the specimens were immersed in the Eagle's minimum essential medium solution at 36.5${\circ}C$ for 15 days. The morphology and chemical composition of the surfaces before and after soaking were analyzed by using FE-SEM and EDS. The in-vitro formation of carbonated calcium phosphate on the thin films containing nano-sized $TiO_2$ crystals was identified.

      • SCOPUSKCI등재

        지르코늄 나프테네이트를 이용한 나노결정질 ZrO<sub>2</sub> 박막의 제조와 칼슘 포스페이트 형성 능력의 평가

        오정선,안준형,윤연흠,강보안,김상복,황규석,심연아,Oh, Jeong-Sun,Ahn, Jun-Hyung,Yun, Yeon-Hum,Kang, Bo-An,Kim, Sang-Bok,Hwang, Kyu-Seog,Shim, Yeon-A 한국세라믹학회 2002 한국세라믹학회지 Vol.39 No.9

        In order to investigate the calcium phosphate forming ability of nanocrystalline $ZrO_2$ film, we prepared $ZrO_2/Si$ structure by using a chemical solution deposition with a zirconium naphthenate as a starting material. Precursor sol was spin-coated onto the (100)Si substrate and prefired at 500$^{\circ}C$ for 10 min in air, followed by final annealing at 800$^{\circ}C$ for 30 min in air. Crystallinity of the annealed film was examined by X-ray diffraction analysis. Surface morphology and surface roughness of the film were characterized by field emission-scanning electron microscope and atomic force microscope. After annealing, nanocrystalline $ZrO_2$ grains were obtained on the surface of the film with a homogeneous interface between the film and substrate. After immersion for 1 or 5 days in a simulated body fluid, formation of calcium phosphate was observed on $ZrO_2$ film annealed at 800$^{\circ}C$ by energy dispersive X-ray spectrometer. The fourier transform infrared spectroscopy revealed that carbonate was substituted into the calcium phosphate. 나노 결정질 $ZrO_2$ 박막을 제조하여 박막의 표면에서 인산칼슘을 유도하는 능력을 편가하기 위하여, 지르코늄 나프테네이트를 출발물질로 사용하고 화학적 용액법을 이용하여, $ZrO_2/Si$ 구조를 제작하였다. 코팅용액을 (100)Si 기판 위에 스핀코팅한 후, 500$^{\circ}C$에서 10분간 전열처리와 800$^{\circ}C$에서 30분간 최종열처리를 행하였고, 모든 열처리는 공기분위기에서 실시하였다. X-ray diffraction analysis를 이용하여 열처리된 박막의 결정화도를 조사하였고, 표면의 미세구조와 표면 거칠기를 field emission-scanning electron microscope와 atomic force microscope를 이용하여 관찰하였다. 열처리 후의 박막은 표면에 미세한 $ZrO_2$ 나노 결정이 생성되어 있었으며, 박막의 계면은 매우 균질 하였다. 유사생채용액에 1일 및 5일간 침적된 샘플의 표면위에 형성된 인산칼슘을 energy dispersive X-ray spectrometer를 이용하여 관찰하였고, fourier transform infrared spectroscopy를 이용하여 인산칼슘에 카본이 치환되어 있음을 확인하였다.

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