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      • 다결정 3C-SiC 박막형 마이크로 수소센서에 관한 연구

        안정학 울산대학교 대학원 2009 국내석사

        RANK : 247631

        본 논문은 다결정 3C-SiC를 이용하여 제작한 고온용 마이크로 수소센서의 특성에 관한 연구 결과로서, APCVD를 이용하여 1150℃에서 30 min 동안 성장한 다결정 3C-SiC박막으로 쇼트키 다이오드와 MOS커패시터를 제작하였다. 촉매금속을 이용하기 전 두가지 형태의 쇼트키 다이오드를 제작하였으며, 산화막 위에 성장된 다결정 3C-SiC 박막형 쇼트키 다이오드의 전기적 특성이 더욱 우수함을 확인하고 수소센서에 적용하였다. 수소센서에 사용할 Pd 박막의 증착 조건을 확보하기위해 XRD, SEM등을 통하여 우선배향성과 평탄도, 밀착력, 증착률 등을 분석했다. Pd/다결정 3C-SiC 박막형 쇼트키 다이오드의 전류밀도, 장벽높이는 2≠10^(-3) A/㎠ 와 0.58 eV으로 각각 나타났으며, 온도에 따라 전류-전압 특성을 측정한 결과 실온에서부터 400℃까지 전압 변화에 따른 ln(I)의 변화가 선형적인 것으로 나타났다. 수소농도에 따라서 Ф_(bn)은 0.587 eV, 0.579 eV, 0.572 eV, 0.569 eV 으로 감소하는 것을 확인하였으며 H₂가스 분위기에서 Ф_(bn)가 감소하고 이로 인하여 전도 전류가 증가함을 알 수 있었다. 또한, 1000 ppm의 수소농도에서 응답속도는 20 sec 였으며, 회복속도는 16 sec 로 나타났으며, 주위온도에는 거의 영향을 받지 않았다. 수소농도에 따른 응답률은 선형적으로 변화하였으며, 우수한 반복성을 나타냈다. 또한 Pd/다결정 3C-SiC MOS형 수소센서를 제작하여 온도 및 수소가스 반응특성을 분석 및 평가하였다. 온도가 증가할수록 감도가 우수하게 나타났으며, 400℃까지 작동하였다. 수소 농도에 따른 초기 전류 변화량 △V는 36 mV, 427 mV, 510 mV, 603 mV, 714 mV로 각각 나타났으며, 센서의 응답속도는 약 60 sec 정도로 나타났다. 선형성 및 반복성 역시 우수했다. 결론적으로 산화막 위에 증착된 다결정 3C-SiC으로 제작된 Pd/3C-SiC 쇼트키 다이오드 및 MOS 소자는400℃ 이상에서도 동작하기 때문에 수소, 황화수소, 메탄, 알코올 등의 고온용 화학센서의 연구개발에 유용하게 사용될 것으로 기대된다. This thesis describes the fabrication and characteristics of micro hydrogen sensors for high temperature. Schottky diode and MOS capacitor were fabricated by polycrystalline(poly) 3C-CSiC thin film grown on n- type Si (100) substrates using APCVD at 1150℃ for 30 minutes. First, two kinds of poly 3C-SiC Schottky diodes were fabricated. Schottky diodes using poly 3C-SiC thin film grown on SiO₂ layer were obtained good electrical properties, so they were applied to hydrogen sensors in this thesis. Pd Schottky contact was deposited by using sputter. Crystalline quality, uniformity, and preferred orientations of the Pd thin film were evaluated by SEM and XRD, respectively. Pd/poly 3C-SiC Schottky diodes were fabricated and characterized by I-V and C-V measurements. Electric current density and barrier height voltage were 2≠10^(-3) A/㎠ and 0.58 eV, respectively. These devices could operate stably at about 400℃. According to H₂ concentrations, their barrier height (Ф_(Bn)) were changed 0.587 eV, 0.579 eV, 0.572 eV and 0.569 eV, respectively. Therefore the current increased. Sensing characteristics have been examined in terms of sensitivity, linearity of response, response rate, and response time. MOS capacitor was fabricated using Pd and poly 3C-SiC thin film. When environmental temperature increased, MOS capacitor obtained good sensitivity and could operated at about 400℃. The △V were 36 mV, 427 mV, 510 mV, 603 mV and 714 mV, respectively according to hydrogen concentrations and the response time was about 60 sec. Its linearity and response characteristics were also good. From these results, Schottky and MOS capacitor devices using Pd and poly 3C-SiC thin film have very high potential for high temperature chemical sensor applications.

      • 중국 대학교 뮤지컬 전공 인재양성 교수 모델 실천 연구

        안정학 안양대학교 일반대학원 2021 국내박사

        RANK : 247615

        뮤지컬은 20 세기 이래 세계 무대에서 가장 현란하고 다채로운 예술 형식 중 하나로, 음악, 무용, 연극 등 다양한 예술 장르를 아우르는 음악 연극 형식이다. 뮤지컬은 19 세기 후반 영국에서 시작해 20 세기에 유럽, 미국을 풍미했고, 80 년대 중국에 정착한 이후 중국식 진로가 시작됐다. 중국 뮤지컬 시장의 성장과 함께 중국의 뮤지컬 전문 교육도 점차 확대되고 있다. 1995 년 중앙연극학원은 '뮤지컬'이라는 이름으로 공연연출 전문반을 창설했다, 같은 해 베이징무용학원에서 뮤지컬 전공을 창설하였으며, 중국에서 처음으로 뮤지컬 전공을 개설한 전문대학이다. 두 학교의 뮤지컬 학과 설립은 중국 대학교에서 뮤지컬 전공교육의 탄생을 알리는 신호탄이다. 이어서 중국 대학교들도 뮤지컬 전공 탐구에 나섰다. 최근 몇 년간, 중국 뮤지컬 인력 수요는 대학교 뮤지컬 인력 양성과 맞지 않는다. 중국 30 여 개 대학 중 뮤지컬 학과 학생들의 취업난이 심각하다. 뮤지컬업에 종사하는 졸업생은 극히 일부에 불과하고, 대다수 졸업생은 취업 스트레스 때문에 다른 업종으로 전입했다. 현 단계 대학교 뮤지컬 전공자들이 배출한 인재들이 사회의 요구에 대응하지 못하고 있으므로 뮤지컬 전공 졸업생 취업난의 현상이 일어난다. 뮤지컬 인재양성의 오랜 경험에 비추어 볼 때 뮤지컬 졸업생의 취업난의 일부 원인은 취업자가 많고 관련 일자리가 적은 사회 현실과 관련이 있다고 생각한다. 또 대학교 뮤지컬 인재양성과 교육방식도 문제가 있다고 생각한다. 따라서 중국 대학교의 뮤지컬 인재양성과 실습 교육에 대한 깊은 정리와 연구가 필요하다. 본 논문은 중국 대학교(학부)의 뮤지컬 전문인재 양성, 중국 대학교의 뮤지컬 전문인재 양성 교육실천 등을 중점적으로 다뤘다. 먼저 뮤지컬의 중국 발전 역사의 맥락을 정리하였고; 그 다음에 중국 대학교에서 뮤지컬 전공교육의 역사와 현황에 대한 문헌 돌아보기 연구도 병행했다. 마지막에 전문예술대학과 종합대학 2 종류의 대표적인 대학교 뮤지컬 전문인재 양성을 통한 조사하고 뮤지컬 전문 인재 양성의 교육 특징, 교육 현황 및 교육방법을 고찰하고 연구한다. 본 논문은 실사법, 심층면접법, 사례분석법, 역사분석법, 비교연구법, 수리통계법 등 6 가지 연구방법을 적용했다. 본 논문은 모두 여섯 개의 연구 장로 나뉜다. 제 1 장“서론” 논문 연구의 기본적인 상황을 간략하게 소개하였다. 연구 대상, 연구의 배경, 의의, 연구방법, 연구 방향을 제시하였고 전면적으로 논문 작성의 과정, 논문 작성의 방법을 기록하였다. 제 2 장“문헌 서술” 중국에서 뮤지컬이 발전한 역사 동인 및 방식을 설명하고, 본 과제의 현재 연구실태를 분석하였고, 국내외의 기존 연구를 빗질하고 평론하여, 후속 연구 성과를 이론적으로 뒷받침해 주었다. 제 3 장“중국 대학 뮤지컬 전공교육 특성 분석”. 뮤지컬 전공 교육이론을 근거로 대학 뮤지컬 교육의 3 대 모듈, 공연실천, 극목 분석 나선다. 중국 특색 문화와 뮤지컬 시장의 배경 아래, 중국 대학교 뮤지컬 전문 교육의 특징을 해석하다. 제 4 장 “중국 대학교 뮤지컬 전공교육 현황 조사”,먼저 중국대학교학부에서 진행되는 뮤지컬 학과 발전의 맥락에 대해 상세하게 서술하였다. 중국 대학교의 뮤지컬 전공교육을 역사적으로 해석하다. 다음으로 중국 대학의 교육목표, 교육과정, 교육성과의 현황을 정리 및 분석, 대표적인 전문예술대학과 종합대학 뮤지컬 전공교육 현황의 다른 점을 해독하다. 제 5 장 “중국 대학교 뮤지컬 전공 교육법에 관한 연구”. 우선 중국 대학 뮤지컬 전공 강의의 조직 형태를 분석하였다. 다음으로 대학 뮤지컬 전공에서 가르치는 방법과 배우는 방법에 관해 서술한다. 이어 뮤지컬 전공교육과 학습과정의 흔한 문제점을 탐색하고 이에 대한 해결책을 제시한다. 결론 부분은 본 논문 내용에 대한 종합적으로 개관한다. 대학의 뮤지컬 전공 강의실습에 관한 연구를 통해 중국 대학 뮤지컬 전공교육의 역사와 현상을 정리하고 교육 관념을 바꿔준다. 뮤지컬 전문인재 양성된 교육 특징, 교육 현황 및 교육방법을 연구하고 전문 교육 내용을 최적화함으로써, 대학 뮤지컬 학과에서 가르치는 문제를 해결하는 데 유리하다. 대학 뮤지컬 전문 교육의 실현을 위해 참고할 수 있는 침투식 교육 시스템 구축의 조치를 제공하는 데 유리하다. 대학 뮤지컬 전공에 맞는 인재를 양성하기 위한 이론적 토대를 마련하는 데도 유리하다. Musical theatre is one of the most colorful art forms around the world since the 20th century. It is an independent musical drama form integrating music, dance, drama and other art categories and genres. Musical theatre originated in the United Kingdom in the second half of the 19th century. It was popular throughout Europe and the United States in the 20th century. It was brought in China in the 1980s. Since then, musical theatre has opened a Chinese-style development path. With the gradual heating up of the Chinese musical theatre market, China’s musical theatre professional education has also been gradually developed. In 1995, The Central Academy of Drama established a special class of acting and director named "Musical Theatre" In the same year, Beijing Dance Academy created the major of musical theatre, which was the first professional college to open this major in China. The establishment of musical theatre majors in the two colleges marked the birth of musical theatre majors in Chinese universities. Subsequently, most colleges and universities in China have also embarked on a journey of exploring the professional development of musical theatre. In recent years, there has been a mismatch between the domestic demand for musical theater talents and the cultivation of college musical talents. Among the more than 30 colleges and universities offering musical theater majors in China, the employment situation of musical theater students is not optimistic. Only a small number of graduates are truly engaged in the musical theater industry, while most graduates choose to transfer to other industries under employment pressure. Because the talents cultivated by the musical theater majors in colleges and universities at this stage cannot meet the needs of the society, it is difficult to find employment for the graduates of musical theater majors. Based on the author’s long-term work experience in musical theatre talent training, the author believes that part of the reason for the difficulty in obtaining employment for musical theatre graduates is related to the social reality, which is few related positions for large numbers of unemployed people. Part of the main reason is the cultivation of musical theatre talents in colleges and universities. Related to teaching. Therefore, it is necessary to conduct in-depth combing and research on the teaching practice of musical theatre talent training in domestic colleges and universities. This article focuses on the cultivation of musical theater professionals in Chinese universities (undergraduates), and conducts research on the teaching practice of musical theater professionals in Chinese colleges and universities. First, it sorts out the historical development of musical theater in China, at the same time, it reviews and studies the history and current situation of musical theater education in domestic colleges and universities. Then, through two representative colleges and universities of professional art colleges and comprehensive universities Conduct investigations on the cultivation of musical theater professionals, and comprehensively investigate and study the teaching characteristics, teaching status and teaching methods of musical theater professionals. In the process of research, the thesis uses six research methods: field survey, in-depth interview, case analysis, historical analysis, comparative research and mathematical statistics. The thesis is divided into six research chapters: The first chapter "Introduction" gives a brief introduction to the basic situation of this research: the research objects, the background and significance of the research, research methods, directions of the research, and the panoramic description of the origin of the text writing, the writing path and the writing process method. The second chapter "Literature Review" explains the history, motivation and methods of musical theatre development in China. It studies and analyzes the current research status of this topic, combs and reviews existing researches at home and abroad, and prepares a theory support for the follow-up researches. Chapter 3 "Analysis of the Characteristics of Education and Teaching of Musical Theater in Chinese Universities", analyzes the three major modules, performance practice, and repertoire of musical theater teaching in colleges and universities based on the theory of musical theater teaching. It analyzes the characteristics of the education and teaching of musical theatre in Chinese universities with Chinese cultural characteristics and musical theatre market. Chapter 4 " The Current Situation of the Teaching of Musical Majors in Chinese Universities" firstly gives a detail description of the development of undergraduate musical theatre professional education in Chinese universities and colleges. It interprets the professional education of musical theater in Chinese universities from a historical perspective. Secondly it analyzes the status quo of teaching goals, teaching courses, and academic achievements of colleges and universities in our country. Furthermore, it interprets the similarities and differences in the teaching status of musical theatre majors in representative professional art colleges and comprehensive universities. Chapter 5 " Research on Teaching Methods of Musical in Chinese Colleges and Universities" firstly analyzes the organizational form of musical theater teaching in Chinese universities. Secondly, it explains the teaching methods and learning methods of musical theater in colleges and universities, and further explores the professional teaching of musical theater and proposes related teaching solutions to common problems in the learning process. The concluding part is a summary of the full text. Through the study on the teaching practice of the musical theater major in colleges and universities, it sorts out the history and current situation of the musical theater education in domestic colleges and universities, changes of the educational concept. Investigation and studies of the teaching characteristics, the status quo and teaching methods of the musical theater professional training, gradually optimize the professional teaching content which is conducive to solving the problems existing in the teaching of the college musical theatre major. It is conducive to provide reference for the college musical theatre major teaching and measures for constructing an infiltration teaching system. It also makes a solid theoretical teaching foundation for the talents of college musical theatre.

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